Интерферометрия в ИК- и видимой областях для контроля рельефа
Структуры со ступеньками, канавками на поверхности полупроводника, диэлектрика,
0,2 – 10 мкм
5 – 10
0,4 – 20
Неразрушаю-щий
Профилометрия для контроля рельефа
Структуры со ступеньками, канавками на поверхности полупроводника, диэлектрика, металла, фоторезиста
0.5 нм – 10 мкм
-
Практически неразрушаю-щий
Декорирование шлифа
Любые комбинации гетеро- и гомо-эпитаксиальных структур (уровни легирования должны отличаться порядок и более)
0,1 – 25 мкм
0,4 – 0,7
Разрушаю-щий
ИК-эллипсометрия
p - n+, p - p+
n - p+, n - n+
0,1 – 2 мкм
3 – 5
λ=10,6 мкм
СО2-лазер
Неразрушаю-щий
Метод
Тип структур
Диапазон толщин
Погреш-ность, %
Спектр. диапазон, мкм
Достоинства, ограничения метода
Сопоставление цветов
Тонкие слои Si* на SiO2
0,3 – 0,7 мкм
2 – 7
0,4 – 0,7
Неразрушаю-щий
Сопоставление
цветов
Прозрачные диэлектрические слои на полупроводниковых подложках (SiO2, Si3N4 на Si)
0,05 – 0,7 мкм
10 – 20
0,4 – 0,7
Неразрушаю-щий
Эллипсометрия в видимой области
Диэлектрические пленки
1 – 1000 нм
3 – 5
0,4 – 0,7
λ=623,8 нм
He-Ne-лазер
Неразрушаю-щий
Монослои полупроводников
1 – 100 нм
0,5 – 2
(ОПТИМУМ ПОТРЕБИТЕЛЯ)
Лекция 05
Учебная цель лекции:
Студент
должен знать: чем понятия «спрос» и «предложение» отличаются от терминов «величина спроса» и «величина предложения»; как неценовые факторы воздействуют на спрос и предложение; как действуют законы спроса и предложения и как устанавливается рыночное равновесие.
уметь: строить графики спроса и предложения; определить равновесные цену и объем; объяснять, почему рыночные цены стремятся равновесию, различать понятия «спрос» и «величина спроса», «предложение» и «величина предложения»; прогнозировать изменение равновесных цены и количества благ на рынке под воздействием различных комбинаций изменения спроса и предложения.
Учебные вопросы лекции:
Анализ спроса.
Спрос: понятие, величина, закон и неценовые факторы влияния на спрос и перемещения кривой спроса D. Эффект замены и эффект дохода.
Анализ предложения.
Предложение: понятие, величина, закон и неценовые факторы, влияющие на предложение и сдвиги кривой предложения S.
Равновесие на рынке отдельного блага.
Цена и равновесие. Сдвиги равновесия.
Рынки покупателя и продавца.
Базовые модели рыночного равновесия: Вальраса, Маршалла и паутинообразная модель.
studopediasu.com - Студопедия (2013 - 2026) год. Все материалы представленные на сайте исключительно с целью ознакомления читателями и не преследуют коммерческих целей или нарушение авторских прав!Последнее добавление